5.3.2 ความดัน

      หนึ่งในเทคโนโลยีไมโครเซ็นเซอร์ที่ประสบความสำเร็จในเชิงพาณิชย์มากที่สุดก็คือ เซ็นเซอร์ความดัน เซ็นเซอร์ความดันทำจากซิลิคอนใช้ในเครื่องขนาดไมโคร ใช้งานวัดความดันที่สามารถวัดความดันได้จากค่าความดัน หนึ่ง ถึง  หลายพันกิโลปาสคาล พร้อมด้วยค่าความละเอียดหนึ่งต่อหมื่น เซ็นเซอร์เหล่านี้มีซิลิกอนไดอะแฟรม (ของเหลว หรือก๊าซ) ซึ่งใช้ในการขยายตัวของไดอะแฟรม

รูปตัววัดความดัน

ที่มา : http://equipit.hrwallingford.com

แนะนำเพื่อให้อ่านได้ต่อเนื่องให้ คลิกขวาเลือก Open link in new window

หากสนใจหนังสือ อื่น ๆ นอกเหนือจากนี้ 

คลิก 

รูปตัวอย่างภายในไมโครเซ็นเซอร์วัดความดัน

ที่มา : http://www.pcb.com

      ส่วนที่ง่ายที่สุดนี้ใช้ ตัวปิเอโซซินเตอร์ (Piezoresistors) ติดตั้งอยู่บนหลังของไดอะแฟรมไปวัดการเสียรูปซึ่งเป็นค่าของความดัน รูปแบบของการกำหนดค่านี้คือ อุปกรณ์เพื่อวัดความเครียด

      การวัดความเครียดแบบ รีโซแนนท์เกจ (Resonant strain gage) ที่ขับเคลื่อนด้วยแม่เหล็กไฟฟ้า ยังคงรูปแบบอื่นในรูปแบบเดียวกันคือ การวัดการเก็บประจุ ซึ่งวัดความจุระหว่างไดอะแฟรม และแท่งอิเล็กโทรด ที่ติดตั้งแนวราบ และขนานกันกับไดอะแฟรม

รูปตัวอย่างรีโซแนนท์เกจวัดความดัน

ที่มา : https://i0.wp.com/automationforum.co

      วิธีวัดความดันมันมีความซับซ้อนมากขึ้น ซึ่งเป็นการใช้งานเรโซแนนท์ของไดอะแฟรมเพื่อตรวจหาความดัน ในอุปกรณ์นี้ ไดอะแฟรมจุ และพบได้จากการตรวจด้วยสายตา ความดันจะส่งผลต่อโหลดทางกลของไดอะแฟรมซึ่งเพิ่มค่าที่แข็งขึ้น และจะกลับกันกับความถี่เรโซแนนท์

รูปตัวอย่างอุปกรณ์รีโซแนนท์เกจวัดความดัน

ที่มา : http://www.hrtcl.com

ข้อคิดดี ๆ ที่นำมาฝาก

“ผิดน้อย ผิดมาก

ไม่สำคัญ

แต่สำคัญที่ว่า

สำนึกผิด หรือเปล่า”

<หน้าที่แล้ว                                 สารบัญ                    หน้าต่อไป>