5.2 อุปกรณ์ทำงานขนาดไมโคร

5.2.1 อุปกรณ์ทำงานไฟฟ้าสถิต

      อุปกรณ์ขนาดไมโครที่มีการใช้งานส่วนใหญ่มันมีส่วนประกอบที่มีความหลากหลาย ซึ่งพวกมันขึ้นอยู่กับการถ่ายโอนไฟฟ้าสถิต อุปกรณ์เหล่านี้ถือได้ว่าเป็นชนิดความจุแบบแปรผัน เนื่องจากพวกมันทำงานในโหมดอนาล็อกเพื่อที่เป็นตัวกระตุ้นแม่เหล็กไฟฟ้าแบบบังคับผันแปร (Variable reluctance)

รูปตัวกระตุ้นแม่เหล็กไฟฟ้าแบบบังคับผันแปร

แนะนำเพื่อให้อ่านได้ต่อเนื่องให้ คลิกขวาเลือก Open link in new window

รูปมอเตอร์สเต็ปปิ้งบังคับผันแปร

เช่น มอเตอร์สเต็ปปิ้งบังคับผันแปร อุปกรณ์ไฟฟ้าสถิตมีการพัฒนาทั้งรูปแบบการเคลื่อนที่เส้นตรง และแบบหมุน การกำหนดค่าที่พบมากสุดสองชนิดของแบบเชิงเส้นของอุปกรณ์ไฟฟ้าสถิตคือ การขับปกติ (Normal-drive) และการขับแบบสัมผัส หรือประเภทขับแบบซี่หวี (Comb-drive) ซึ่งดูได้ที่รูปด้านล่าง

รูปผังการขับปกติของอุปกรณ์ไฟฟ้าสถิต

และรูปด้านล่าง คือการขับแบบซี่หวี

รูปการขับแบบซี่หวีอุปกรณ์ไฟฟ้าสถิต กำลังไฟฟ้าที่ขั้วไฟฟ้าจะเคลื่อนที่ไปสู่ขั้วไฟฟ้านั่น

ข้อสังเกตอุปกรณ์ทั้งคู่ จะถูกรับด้วยการดัดโค้ง ซึ่งทำให้แรงขาออกเท่ากับแรงในอุปกรณ์ไฟฟ้าสถิตลบด้วยแรงยืดหยุ่นที่จำเป็นต่อการรองรับการโค้งงอ ชนิดการขับปกติของอุปกรณ์ไมโครไฟฟ้าสถิตทำงานคล้ายกันกับ ไมโครโฟนคอนเดนเซอร์ (Condenser microphone)

รูปผังภายในของไมโครโฟนคอนเดนเซอร์

รูปไมโครโฟนคอนเดนเซอร์

ข้อคิดดี ๆ ที่นำมาฝาก

“การคิด

คือ การพูดระหว่างจิตวิญญาณ

กับตัวเราเอง

Thinking is the talking of the soul with itself.”

Plato

<หน้าที่แล้ว                                 สารบัญ                    หน้าต่อไป>